Čo robí sprchová hlavica PECVD?

0020-30797 Sprchová hlavica s perforovaným tanierom

0021-35869 SHOWERHEAD

 

Čo robí sprchová hlavica v procese PECVD?

Ako je znázornené na obrázku vyššie, sprchová hlavica, tiež preložená ako sprchová hlavica, sprchová hlavica atď., zvyčajne tesne prilieha k hornej časti reakčnej zóny a pôsobí ako prívod plynu, ktorý rovnomerne vstrekuje reakčný plyn do komory cez malé otvory. na jeho povrchu. Samozrejme nejde len o funkciu rozvodu plynu, niektoré sú určené na použitie ako súčasť elektródy.
Funkcia Sprchová hlavica?

Povrch sprchovej hlavice je pokrytý hustými pórmi a po vtečení reakčného plynu sa rovnomerne rozdelí na niekoľko častí a prenesie na vrch oblátky konštantnou rýchlosťou, takže reakčný plyn rovnomerne pokryje celú plochu. povrch oblátky, aby sa vytvoril rovnomernejší povlak. Keď je sprchová hlavica súčasťou elektródy, vysokofrekvenčný zdroj energie generuje na svojom povrchu rovnomerné elektrické pole schopné vytvárať homogénnu plazmu.

Aký kov sa zvyčajne používa na výrobu sprchovej hlavice?

Najbežnejší je hliník, ktorý má vysokú tepelnú vodivosť a odolnosť proti korózii. Na výrobu sprchovej hlavice je možné použiť aj kremeň alebo keramiku.