Čo je reakčná atomizácia polysilikónovej redukčnej pece

Čo jeRakciaAtomizáciaPolysiliconRvzdelávanieFurna

Polysilikónová redukčná pec je základným zariadením na výrobu polysilikónu a reakčná atomizácia polysilikónovej redukčnej pece sa vzťahuje na reakciu tepelného krakovania chlórsilánu v redukčnej peci v dôsledku pôsobenia vysokej teploty, výsledkom čoho je jemný oxid kremičitý, ktorý vytvára hmlu v priestore plynnej fázy v peci, to znamená takzvaný fenomén atomizácie. Ak sa nekontroluje, táto atomizácia môže viesť k nepravidelným časticiam alebo vnútorným medzivrstvám na povrchu polysilikónových tyčí, čo ovplyvňuje kvalitu produktu.

Po výskyte fenoménu atomizácie zvyčajne dochádza k zmenám parametrov:

· Teplota výfukových plynov z redukcie rýchlo stúpa;

· Redukčné napätie rýchlo klesá;

· Rýchlo klesá aj sila redukčnej reakcie

· Teplota vratnej vody z pece stúpa.

Existuje mnoho dôvodov na atomizáciu v polysilikónovej redukčnej peci, vrátane, ale nie výlučne, vysokej povrchovej teploty polysilikónovej tyče v redukčnej peci, nedostatočného prietoku vodíka surovinami, nedostatočného celkového prietoku surovín alebo nevhodného obsahu chloridu kremičitého. Opatrenia, ktoré možno prijať na kontrolu atomizácie, zahŕňajú zníženie teploty povrchu tyče, zvýšenie prietoku vodíka, zvýšenie celkového prietoku suroviny alebo kontrolu obsahu dichlórdihydrogénsilánu.

Celkový prietok materiálu je nedostatočný alebo obsah dichlórdihydrogénkremíka je nevhodný. Opatrenia, ktoré možno prijať na riadenie atomizácie, zahŕňajú zníženie teploty povrchu tyče, zvýšenie prietoku vodíka, zvýšenie celkového prietoku suroviny alebo kontrolu obsahu dichlórdihydrogénsilánu.

Okrem toho sa s prehlbovaním výskumu optimálneho riadenia redukčnej pece zistilo, že redukčná pec môže mať vplyv na zníženie spotreby energie pri rôznych stavoch atomizácie. Na dosiahnutie určitého stupňa atomizácie hranice hrana karty, ktorá môže nielen znížiť spotrebu energie, ale aj zabezpečiť kvalitu produktu. Avšak kvôli nedostatku účinných detekčných metód pre stupeň atomizácie je ťažké dosiahnuť uspokojivé výsledky existujúcimi kontrolnými stratégiami.

Na vyriešenie tohto problému bol navrhnutý systém a spôsob detekcie stupňa atomizácie polysilikónovej redukčnej reakcie, vrátane zariadenia na detekciu výfukových plynov a centrálneho ovládača. Detegovaním zmeny obsahu kremičitých úletov vo výfukových plynoch systém digitálne monitoruje stupeň atomizácie v peci v reálnom čase a obsluha môže podľa výsledkov detekcie včas upravovať parametre redukčnej pece tak, aby sa dosiahla optimálna kontrola .

Okrem toho sa navrhuje metóda detekcie atomizácie v polysilikónovej redukčnej peci, ktorá meria hodnotu koncentrácie prachu inštaláciou prachového detektora na výstupné potrubie výfukových plynov a vypočítava rozsah a rozptyl na posúdenie stupňa atomizácie v peci, takže ako viesť operátora k vykonaniu úprav. Aplikácia týchto technológií pomáha zlepšiť kvalitu riadenia redukčnej pece, znížiť náročnosť prevádzky a zabezpečiť kvalitu polysilikónových výrobkov.